Compresor de aire sin aceite para laboratorios de semiconductores

Para establecer líneas de servicios confiables para instalaciones de investigación de precisión, obtenga proveedores de compresores de aire sin aceite de China para laboratorios de semiconductores. Las soluciones de aire de alta pureza de DECHUAN utilizan sellos de aislamiento de carbono de múltiples capas para eliminar trazas de hidrocarburos, lo que garantiza una calidad prístina del gas para el grabado crítico del silicio.

Requisitos críticos de pureza del gas para salas blancas

En la fabricación de semiconductores y la litografía de película delgada, incluso una sola gota microscópica de vapor de aceite transportada a través de la línea de aire puede arruinar un lote de producción completo. Este producto especializado está diseñado para cumplir con los más altos estándares de pureza:

• Suministro de aire Clase 0 certificado por TÜV: Nuestros sistemas se someten a pruebas rigurosas en temperaturas de funcionamiento variables. Un análisis independiente confirma que no hay absolutamente ningún rastro de aceite en la corriente de aire de salida.

• Rutas de aire internas libres de corrosión: cada pieza de tubería, conjunto de enfriador y matriz de separación aguas abajo de la cámara de compresión está hecha de acero inoxidable de primera calidad para evitar que las escamas de óxido contaminen las líneas de aire de la sala limpia.

• Integración avanzada de Elektronikon®: el controlador integrado sigue de cerca las métricas operativas y presenta apagados de seguridad proactivos para garantizar que nunca entre aire impuro en la red del laboratorio.

El alto costo de la microcontaminación en la electrónica

En la fabricación de obleas de semiconductores, una sola gota de aerosol de aceite puede contaminar todo el entorno de una sala limpia, arruinando miles de obleas de silicio y provocando pérdidas millonarias en tiempo de producción. Los compresores de aire tradicionales no pueden garantizar la pureza absoluta de hidrocarburos cero requerida para estos procesos a escala nanométrica.

El compresor de aire sin aceite especializado para laboratorios de semiconductores garantiza pura seguridad del proceso:

• Flujo de aire CLASE 0 certificado: Probado estrictamente por TÜV en rangos térmicos y de presión extremos para garantizar una presencia absoluta de aceite.

• Internos libres de partículas: los preenfriadores de acero inoxidable y los intercambiadores de calor de aletas en estrella eliminan las escamas de oxidación o el desprendimiento de químicos dentro del recorrido del aire.

• Escudo de monitoreo electrónico: las alarmas de mantenimiento proactivo y los apagados automáticos por fallas previenen las desviaciones del sistema antes de que lleguen a las herramientas de su sala limpia.

Parámetros técnicos de pureza

• Potencia nominal del sistema: configuraciones de alta densidad de 55 kw a 900 kw.

• Tasa de entrega volumétrica: 4,2 - 148,5 m³/min de salida de flujo limpio.

• Clasificación del contenido de aceite: ISO 8573-1 Clase 0, validación completamente libre de aceite.

• Diseño de enfriamiento: enfriamiento por fluido de acero inoxidable que evita la desgasificación química.

Las condiciones de referencia de rendimiento para la unidad se midieron de acuerdo con el Anexo C, 4.ª edición (2009) de la norma ISO 1217:

· Humedad relativa: 0%

· Presión absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C La tasa de descarga (FAD) se midió a las siguientes presiones operativas:

Tipo de velocidad constante:

· -7,5 bar tipo: 7 bar

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo de VSD:

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· -10,4 bar tipo: 9 bar

· (2) Nivel de presión sonora de emisión ponderado Clase A del puesto de trabajo (LpWSAd). Medido según ISO 2151:2004 (utilizando el método de escaneo de intensidad de sonido 150 9614/2). El factor de corrección recién agregado es un valor completamente incierto (KpAd), conforme al código de prueba.

· (3) El peso es sólo de referencia; Prevalecerá el peso real suministrado.

ZR/ZT 110-160 (FF) ESTÁNDAR

Según ISO 1217 Anexo C, 4ª edición (2009), las condiciones de referencia de rendimiento de la unidad son las siguientes:

· Humedad relativa: 0%

· Presión absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C

El desplazamiento FAD se mide a las siguientes presiones operativas:

Modelos de velocidad constante:

-Modelos de 7,5 bares: 7 bares

-Modelos de 8,6 barras: 7 barras

-Modelos de 10 barras: 9 barras

Modelos VSD:

-Modelos de 8,6 barras: 7 barras

-Modelos de 10,4 bares: 9 bares

(2) Nivel de presión sonora de emisión ponderado Clase A del puesto de trabajo (LpWSAd). Medido según ISO 2151:2004 (método de escaneo de intensidad de sonido ISO 9614/2). El factor de corrección KpAd recién agregado es incierto y cumple con el código de prueba.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) El peso es sólo de referencia; Prevalecerá el peso real.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Humedad relativa: 0%

-Presión absoluta de entrada: 1bar

-Temperatura de entrada: 20°℃

La tasa de descarga (FAD) se midió a las siguientes presiones operativas

Tipo de velocidad constante:

-7,5 tipo de barra: 7 barra

-8,6 tipo de barra: 7 barra

-Tipo de 10 barras: 9 barras

Tipo VSD:

-8,6 tipo de barra: 7 barra

-10,4 tipo de barra: 9 barra

(2) Nivel de presión sonora de emisión ponderado Clase A del puesto de trabajo (LpWSAd).

Medido según ISO 2151:2004 (utilizando 150 9614/2 (método de escaneo de intensidad de sonido).

El factor de corrección recién agregado es un valor completamente incierto (KpAd), conforme al código de prueba.

(3) El peso es sólo de referencia; Prevalecerá el peso real suministrado.

ZR 300-750

Las condiciones de referencia de rendimiento para la unidad se midieron de acuerdo con el Anexo C, 4.ª edición (2009) de la norma ISO 1217:

· Humedad relativa: 0%

· Presión absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C La tasa de descarga (FAD) se midió a las siguientes presiones operativas:

Tipo de velocidad constante:

· -7,5 bar tipo: 7 bar

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo de VSD:

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· -10,4 bar tipo: 9 bar

· (2) Nivel de presión sonora de emisión ponderado Clase A del puesto de trabajo (LpWSAd). Medido según ISO 2151:2004 (utilizando el método de escaneo de intensidad de sonido 150 9614/2). El factor de corrección recién agregado es un valor completamente incierto (KpAd), conforme al código de prueba.

· (3) El peso es sólo de referencia; Prevalecerá el peso real suministrado.

ZR 200X-400X

Las condiciones de referencia de rendimiento para la unidad se midieron de acuerdo con el Anexo C, 4.ª edición (2009) de la norma ISO 1217:

· Humedad relativa: 0%

· Presión absoluta de entrada: 1 bar

· Temperatura de entrada: 20°C La tasa de descarga (FAD) se midió a las siguientes presiones operativas:

Tipo de velocidad constante:

· -7,5 bar tipo: 7 bar

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· Tipo -10 bar: 9 bar

Tipo de VSD:

· -8,6 bar tipo: 7 bar

· -10,4 bar tipo: 9 bar

· (2) Nivel de presión sonora de emisión ponderado Clase A del puesto de trabajo (LpWSAd). Medido según ISO 2151:2004 (utilizando el método de escaneo de intensidad de sonido 150 9614/2). El factor de corrección recién agregado es un valor completamente incierto (KpAd), conforme al código de prueba.

· (3) El peso es sólo de referencia; Prevalecerá el peso real suministrado.

Estudio de caso de usuario de laboratorio de sala limpia

Un fabricante de productos electrónicos de Asia instaló el sistema de aire especializado de DECHUAN para suministrar circuitos de generación de nitrógeno de alta pureza y brazos de prueba neumáticos. Anteriormente, los compresores estándar permitían que los vapores de aceite migraran a través de los filtros en línea, cubriendo las lentes de litografía y provocando microfracturas en los recubrimientos de las obleas. Después de instalar el compresor de aire sin aceite para laboratorios de semiconductores, el laboratorio informó cero incidentes de contaminación de líneas relacionados con el aceite, lo que ahorró costos sustanciales de limpieza y recalibración de salas blancas durante dos años de operación continua.

Adaptación y control de componentes personalizados

• Actualización del material de acero inoxidable: reemplazamos todos los componentes internos de fundición estándar con acero inoxidable de alta calidad para cumplir con estrictas pautas de microcontaminación.

• Protocolos de comunicación avanzados: la unidad está precargada con protocolos de comunicación especializados, lo que permite a los centros de control de salas blancas monitorear las métricas del aire de forma remota.

• Espacio estructural compacto: el diseño interior está optimizado para minimizar el espacio, lo que facilita su instalación en espacios reducidos de servicios públicos del sótano del laboratorio.

Preguntas frecuentes para compradores industriales

P: ¿Podemos conectar este compresor directamente a circuitos de filtración de pureza ultraalta (UHP)?

R: Sí, nuestra salida de aire es totalmente compatible con secadores desecantes para salas blancas avanzados y sistemas de filtración de partículas submicrónicas. Debido a que el aire bruto no contiene vapor de aceite, los filtros especializados de su punto de uso no se obstruirán con la neblina de aceite, lo que prolongará la vida útil del filtro.

P: ¿Cómo garantizan los sellos tipo Z cero migración de aceite desde el conjunto de engranajes?

R: El compresor de aire sin aceite para laboratorios de semiconductores cuenta con un espacio físico de ventilación atmosférica entre la carcasa del engranaje lubricado con aceite y la cámara de compresión seca. Los sellos de anillo de carbono especializados sin contacto se combinan con canales de presión negativa, lo que garantiza que cualquier neblina de aceite para engranajes quede completamente bloqueada para impedir que ingrese a la corriente de aire limpio.

P: ¿Qué sucede si un sensor de temperatura interno detecta una lectura anormal?

R: El controlador Elektronikon® toma muestras de datos vitales varias veces por segundo. Si se detecta un aumento de temperatura en cualquier etapa, el sistema activa instantáneamente un apagado automático y cierra las válvulas de aislamiento, lo que garantiza que el aire no enfriado nunca fluya hacia los equipos sensibles de su laboratorio.